.狽慚，&蒼產蟬辮;絕對?磁版本；

.貶癡，&蒼產蟬辮;?真空版本;

1             底?尺?*?度

65&蒼產蟬辮;×&蒼產蟬辮;65&蒼產蟬辮;塵塵&蒼產蟬辮;×&蒼產蟬辮;12&蒼產蟬辮;塵塵

2            主體材料

不銹鋼

不銹鋼

3            線纜 & 接頭

標準屏蔽線纜

頓廠恥產9&蒼產蟬辮;接頭

辦補辮遲辭蒼漆包線，

筆貳貳礙-2塵塵插針

運動參數-空間推薦安裝形式&蒼產蟬辮;濱.（下列性質均在推薦安裝形式下測得）

4            運動?程

6 mm

5            最?速度

推薦使?&蒼產蟬辮;0.5塵塵/塵頸蒼，最?2&蒼產蟬辮;塵塵/蟬

6            最?步伐

典型值20&蒼產蟬辮;蒼塵，最?&蒼產蟬辮;50&蒼產蟬辮;蒼塵

7            驅動頻率

最?頻率2&蒼產蟬辮;辦貶鋤，典型&蒼產蟬辮;350&蒼產蟬辮;貶鋤

8            主動推?

20 N

9            保持?

100 N

10           最?側向?

1 N

運動參數-空間推薦安裝形式&蒼產蟬辮;濱濱.（下列性質均在推薦安裝形式下測得）

11           最?垂直負載

2 N

12           保持?

5 N

其他

13           使?溫度

10&蒼產蟬辮;-&蒼產蟬辮;40&蒼產蟬辮;°頒