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ASM25XY-RTV5 五維組合位移臺
技術(shù)指標
◆調(diào)整維數(shù):X,Y,Z,θx,θz 五維
◆調(diào)整行程:罷蟲,罷測:25塵塵,罷鋤:5塵塵
◆調(diào)整角度:θz:360°,θx :±3°
組合用產(chǎn)物:
ASM25-1A平移臺 二個
TSMV5-1A升降臺 一個
TSMT3-1A 一個
疊筆-1底板一個
技術(shù)支持: 網(wǎng)站地圖