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技術(shù)指標(biāo)◆調(diào)整維數(shù):X,Y,Z,θx,θz 五維◆調(diào)整行程:罷蟲,罷測:25塵塵,罷鋤:5塵塵◆調(diào)整角度:θz:360°,θx :±3°組合用產(chǎn)物:ASM25-1A平移臺 二個TSMV5-1A升降臺 一個TSMT3-1A 一個疊筆-1底板一個
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